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              板式PECVD上下料機

              產品特點

              最高產能可達到6000pcs/h 

              可根據客戶需求進行定制 

              設備結構簡單穩定

              技術參數

              技術參數相關參數
              產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
              碳框尺寸 

              10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

              硅片尺寸 

              166mm-210mm

              碎片率  ≤0.02%
              開機率≥98%
              功率15kW
              耗氣量500L/min
              具體參數如有變動,本公司不另行通知!
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