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              擴散/氧化/退火上下料機

              產品特點

              最高產能可達到16000pcs/h

              可根據客戶需求進行配置

              特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性

              技術參數

              技術參數相關參數
              產能8000/11000/16000 pcs/h
              石英舟規格 1000/1200/1600槽 ,節距2.38mm
              硅片尺寸 166mm-210mm
              適用花籃100 cassette
              碎片率≤0.03%
              開機率≥98%
              耗氣量1000L/min
              具體參數如有變動,本公司不另行通知!
              返回
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